MPG400/MPG401冷陰極皮拉尼復(fù)合真空規(guī)

簡(jiǎn)要描述：INFICON的冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī)MPG400和MPG401,測(cè)量范圍從5x10-9毫巴至大氣壓(3

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更新時(shí)間：2025-09-11
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詳情介紹

INFICON的冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī) MPG400和MPG401, 測(cè)量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測(cè)量方式組合在一個(gè)具有對(duì)數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi),大大地降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性.

MPG400冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī)的詳細(xì)介紹

優(yōu)點(diǎn)：

■復(fù)合真空規(guī)—冷陰極與皮拉尼

■寬的壓強(qiáng)測(cè)量范圍從5X10^-9毫巴至大氣壓

■無(wú)可燒毀的燈絲

■的引燃功能

■易清洗

■FPM或金屬密封的饋入件

■高壓加上時(shí)LED指示燈亮

■對(duì)數(shù)模擬輸出訊號(hào)

應(yīng)用：

■高真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)

■蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強(qiáng)測(cè)量

■一般真空測(cè)量和控制，從中至高真空范圍

技術(shù)參數(shù)：

測(cè)量范圍 (空氣, N2)	毫巴(乇)	5 x 10^-9… 1000 (3.8 x 10^-9… 760)
精度 (N2) 1 x 10^-8… 100毫巴	% 讀值	≈±30%
重復(fù)性1 x 10^-8… 100毫巴	% 讀值	≈±5%
安裝方向		任何
允許壓強(qiáng)	巴()	≤10 (限于惰性氣體)
允許溫度工作 (室溫) 貯存烘烤¹⁾ 燈絲溫度 (皮拉尼)	°C °C °C °C	+5 … +55 –40 … +65 150 120
電源電壓
在規(guī)管上	V DC	+15 … +30
在供電單元上, 電纜長(zhǎng)度²⁾	V DC	+16 … +30
紋波	Vpp	≤1
功耗	W	≤2
連接保險(xiǎn)絲	AT	≤1
輸出訊號(hào)(測(cè)量訊號(hào))
電壓范圍	V	0 … +10.5
測(cè)量范圍	V	+1.82 … +8.6
電壓與壓強(qiáng)的關(guān)系		對(duì)數(shù), 0.6 V/量級(jí)
誤差訊號(hào)	V	<0.5 (無(wú)電源)
	V	>9.5 (皮拉尼傳感器, 燈絲斷裂)
輸出阻抗	?	2 x 10
最小負(fù)載阻抗	k?	10, 短路保護(hù)
響應(yīng)時(shí)間 p > 10^-6 毫巴	毫秒	<10
p = 10^-8 毫巴	毫秒	≈1000
規(guī)管標(biāo)識(shí)	k?	85, 參考電源公共點(diǎn)
狀態(tài)
僅皮拉尼模式	V	0 (低)
復(fù)合皮拉尼 / 冷陰極模式	V	15 … 30 (高)
指示燈	LED 綠色	高壓on
電氣連接		FCC 68 設(shè)備連接件, 8腳,凹型
傳感器電纜		8芯,加屏蔽
電纜長(zhǎng)度	米	≤50 (8 x 0.14 毫米²)
工作電壓	千伏	≤3.3
工作電流	微安	≤500
暴露于真空的材料		不銹鋼, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W	不銹鋼, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W
內(nèi)容積	厘米³	≈20
重量